Ionen-Sondenanalyse ist eine hochenergische Primärionenstrahlstrahl, die die Probenoberfläche bombardiert und sekundäre Ionen erzeugt. Nachdem diese geladenen Partikel vom Massenanalysator getrennt wurden, gelangen sie schließlich zum Detektor, wodurch eine genaue Analyse der Materialzusammensetzung auf der Probenoberfläche erreicht wird.
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